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Mo/Si多层膜残余应力的研究 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 01, 页码: 62-67
作者:  向鹏;  金春水
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：397/68  |  提交时间：2013/03/11
极紫外光刻  多层膜  残余应力