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一种全息光栅曝光系统结构 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 639-644
作者:  撖芃芃
caj(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/63  |  提交时间：2015/04/17
全息光栅  波前质量  模态分析  稳定性  
离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 628-632
作者:  吴娜
caj(209Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/91  |  提交时间：2015/04/17
衍射效率  刻蚀模拟  全息光栅