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微摩擦测试仪力传感器的研究 期刊论文
光学精密工程, 2002, 期号: 04, 页码: 388-391
作者:  黎海文;  贾宏光;  吴一辉;  李锋
caj(33Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/56  |  提交时间：2013/03/11
Mems  微摩擦测试  力传感器  结构设计