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离轴三反空间相机外遮光罩组件的研制 期刊论文
光机电信息, 2010, 卷号: 27, 期号: 12
作者:  李志来
Unknown(638Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/136  |  提交时间：2012/09/25
100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展 期刊论文
光机电信息, 2004, 期号: 05, 页码: 20-24
作者:  董吉洪;  田兴志;  李志来;  王明哲
caj(666Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：471/69  |  提交时间：2013/03/11
光刻机  工件台  掩模台  
超高刚度自主式空气静压支承发展现状 期刊论文
光机电信息, 1998, 期号: 01, 页码: 9-11
作者:  李志来
caj(157Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/44  |  提交时间：2013/03/11
空气静压轴承  超高刚度  自主式节流器