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一种低温沉积折射率可变的类金刚石薄膜的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-08-26, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  高劲松;  王彤彤;  王笑夷
Adobe PDF(288Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/36  |  提交时间：2012/08/29