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极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：307/95  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/115  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(1235Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：261/94  |  提交时间：2016/07/06
高精度检测  光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  激光光源  光纤