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| 极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者: 王君; 金春水 ; 王丽萍; 卢增雄
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X射线光学 极紫外光刻 分辨率增强 离轴照明阴影效应 光刻胶 |
| 高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者: 王辉; 于杰; 周烽; 王丽萍
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测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |
| 干涉测量框架结构设计及稳定性分析 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 132-135
作者: 周烽; 王辉; 王丽萍
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测量 稳定性分析 干涉测量框架 有限元分析 随机振动分析 |
| 可见光移相点衍射干涉仪的空气扰动误差分析 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 07, 页码: 1899-1904
作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍
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空气扰动误差 十三步移相算法 移相点衍射干涉仪 光学检测 |
| 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王辉; 周烽; 王丽萍; 金春水
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| 柔性臂约束/非约束模态降维模型精度分析 期刊论文
航天器环境工程, 2012, 期号: 03, 页码: 287-291
作者: 赵宝山; 赵志刚; 王利平; 张刘; 齐乃明
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柔性机械臂 有限元法 动力学方程 约束模态 非约束模态 绝对误差 |
| 可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 05, 页码: 1351-1356
作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍
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误差分析 十三步移相算法 移相点衍射干涉仪 光学检测 |
| 一种用于ＥＵＶ光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 金春水; 王辉; 郑琪峰; 周烽; 王丽萍
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| 点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 03, 页码: 177-183
作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍
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测量 标定算法 波前参考源 相移点衍射干涉仪 |
| 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王辉; 周烽; 郑琪峰; 王丽萍; 金春水
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