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A general method of designing phase-shifting algorithms for grating lateral shearing interferometry 期刊论文
Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering, 2018, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 809-814
作者:  Fang, C.;  Xiang, Y.;  Qi, K. Q.
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Interferometry  Phase measurement  Phase-shifting algorithms  point-diffraction interferometer  wave-front reconstruction  hartmann-shack sensor  spatial-resolution  metrology  optics  euva  Computer Science  Engineering  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
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测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
Calibration Method to Eliminate Zeroth Order Effect in Lateral Shearing Interferometry 期刊论文
Photonic Sensors, 2018, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 255-262
作者:  Fang, C.;  Xiang, Y.;  Qi, K. Q.;  Chen, D. W.
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Calibration  phase measurement  phase shifting interferometry  spatial-resolution  phase  optics  Instruments & Instrumentation  Optics  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts