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电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 455-462
作者:  王少鑫;  齐克奇;  王玉坤;  王智;  陈立恒
caj(2680Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:151/37  |  提交时间:2020/08/24
惯性传感器  敏感结构  电极不对称  量程