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用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台 期刊论文
电子测试, 2013, 期号: 09, 页码: 255-257
作者:  刘世界;  尼启良;  陈波;  何玲平;  王海峰
caj(1154Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/91  |  提交时间：2014/03/07
极紫外  多层膜  反射率测量