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柔性悬臂微机械光开关制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-12-30, 公开日期: 2009-12-30
发明人:  梁静秋;  钟砚超;  梁中翥;  陈斌;  孙德贵
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