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Fabrication of high-efficiency and low-stray-light grating by inductively coupled plasma(ICP) etching-polishing method 期刊论文
Optics Express, 2016, 卷号: 24, 期号: 6
作者:  Tan, X.;  Q. B. Jiao;  X. D. Qi and H. Bayan
Adobe PDF(2829Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：359/116  |  提交时间：2017/09/11