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利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 3
作者:  张立超
caj(169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/24  |  提交时间：2012/09/25
软X射线多层膜光栅 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 02, 页码: 1-7
作者:  曹召良;  张立超;  曹健林
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/65  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜  光栅