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利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233
作者:  赵阳;  王平;  赵磊;  刘春来;  华洋洋;  门树东
caj(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/102  |  提交时间：2015/04/17
几何光学  复杂系统装调  补偿量选择  奇异值分解  失调量向量  补偿量相关性  
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:  赵磊;  巩岩;  赵阳
caj(1756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：390/121  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  柔性铰链  微动调整机构  系统波像差