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| 梦之线光栅单色器温度起伏对能量漂移的影响 期刊论文 光学精密工程, 2018, 期号: 09, 页码: 2313-2319 作者: 陈家华; 邹鹰; 卢启鹏; 王勇; 薛松 收藏  |  浏览/下载:200/0  |  提交时间:2019/09/17 光栅单色器 温度起伏 能量漂移 气体吸收谱 能量分辨率 |
| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816 作者: 陈家华; 龚学鹏; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依 caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:457/118  |  提交时间:2018/04/09 同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦 caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:373/121  |  提交时间:2018/04/09 极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150 作者: 龚学鹏; 卢启鹏; 彭忠琦 caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:246/97  |  提交时间:2015/04/17 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |
| 应用光程校正空间法提升近红外无创生化分析模型性能 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1974-1980 作者: 高洪智; 卢启鹏; 丁海泉; 陈思唯 caj(525Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:309/66  |  提交时间:2014/03/07 近红外光谱 无创生化分析 光程校正空间 净信号分析 |
| 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747 作者: 高飒飒; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏 caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:419/120  |  提交时间:2014/03/07 X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 |
| 连续多点成形中的成形载荷分析 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 06, 页码: 1288-1295 作者: 龚学鹏; 李明哲; 卢启鹏; 彭忠琦 caj(909Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:408/65  |  提交时间:2013/03/11 柔性加工 连续成形 多点成形 数值分析 三维曲面 |
| 自适应滤波在近红外无创生化分析中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 04, 页码: 873-879 作者: 卢启鹏; 陈丛; 彭忠琦 caj(522Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:408/83  |  提交时间:2013/03/11 自适应滤波 最小均方算法 脉搏波 近红外光谱 无创生化分析 |
| 谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 03, 页码: 514-519 作者: 马磊; 卢启鹏; 彭忠琦 caj(363Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:462/99  |  提交时间:2013/03/11 变包含角平面光栅单色仪 谱学显微光束线 光斑水平漂移 误差分析 |
| 基于多点调形原理的旋转曲面连续成形 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 01, 页码: 117-123 作者: 龚学鹏; 李明哲; 卢启鹏; 彭忠琦 caj(828Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:394/98  |  提交时间:2013/03/11 柔性加工 连续成形 多点成形 数值分析 旋转曲面 |