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基于MEMS的无阀泵研究进展 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 4
作者:  白兰;  冯志庆;  吴一辉
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Mems  微型无阀泵  扩张管/收缩管  
脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 2
作者:  马波;  刘波;  吴一辉;  贾宏光;  张平
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硅基  镍铁薄膜  脉冲电流  晶粒  
一种微电解池式微流量传感器的研制 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  吴一辉
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基于MEMS的无阀泵的数值仿真与参数设计 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 5
作者:  白兰;  冯志庆;  吴一辉
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Mems  微型无阀泵  数值仿真  参数设计  
平面微电机定子线圈制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 3, 期号: 3, 页码: 27
作者:  吴一辉;  王淑荣
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一种PDMS微混合器的制备及性能分析 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  李淑娴;  吴一辉;  贾宏光;  张平;  王淑荣;  宣明
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微混合器  Pdms  模压  透射比  混合  
基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  刘利娜;  贾宏光;  王淑荣;  吴一辉
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微全分析系统  双功能温控芯片  Mems  温度控制  
基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 1
作者:  何林;  吴一辉;  张平;  宣明
caj(965Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:271/47  |  提交时间:2012/09/25
微型全分析系统(Μtas)  血细胞分离  微过滤器  Mems  微分离技术  
用于微摩擦测试的微力传感器及其制作 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 03, 页码: 65-69
作者:  黎海文;  吴一辉;  李也凡;  张平;  王淑荣;  贾宏光
caj(69Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:351/59  |  提交时间:2013/03/11
Mems  微摩擦测试  微力传感器  
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
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(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  Mems  湿法腐蚀