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光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210206727.6, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20
发明人:  赵磊;  巩岩;  倪明阳;  孙振
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The reflectivity measurement of the 28.5nm multilayer mirror 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2003, 卷号: 52, 期号: 4, 页码: 809-812
作者:  Huang W. Z.;  Li Y. J.;  Gu Y. Q.;  Zhang J.;  You Y. L.;  Cun Y. S.;  He Y. L.;  Lei A. L.;  Chen C. L.;  Ma Y. Y.;  Jin C. S.
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