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NANOMETER CHARACTERIZATION OF SINGLE-POINT DIAMOND-TURNED MIRRORS ON THE MICROMETER AND SUBMICROMETER SCALE 期刊论文
Journal of Vacuum Science & Technology B, 1994, 卷号: 12, 期号: 3, 页码: 1835-1838
作者:  Yu J.;  Hou L.;  Ma W. S.;  Cao J. L.;  Yu J. Y.;  Yao J. E.
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