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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/95  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
Tunable surface-emitting dual-wavelength laser from a blended gain layer with an external holographic grating feedback structure 期刊论文
Optical Materials Express, 2016, 卷号: 6, 期号: 10
作者:  Zhang, G. Y.;  L. J. Liu;  M. H. Liu;  Y. G. Liu;  Z. H. Peng;  L. S. Yao;  Q. D. Wang;  S. X. Wang;  Z. L. Cao;  J. Ma and L. Xuan
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