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Optical reflectivity and hardness improvement of hafnium nitride films via tantalum alloying 期刊论文
Applied Physics Letters, 2016, 卷号: 109, 期号: 23
作者:  Gu, Z. Q.;  H. H. Huang;  S. Zhang;  X. Y. Wang;  J. Gao;  L. Zhao;  W. T. Zheng and C. Q. Hu
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