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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [6]
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亚波长介质光栅的制作误差分析
期刊论文
光子学报, 2004, 期号: 01, 页码: 76-80
作者:
曹召良
;
卢振武
;
李凤有
;
孙强
;
任智斌
;
赵晶丽
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提交时间:2013/03/11
亚波长
光栅
方向误差
面形误差
Rcwa
衍射效率
亚波长衍射微透镜的设计
期刊论文
光子学报, 2004, 期号: 01, 页码: 81-84
作者:
刘玉玲
;
卢振武
;
任智斌
;
李凤有
;
曹召良
;
孙强
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提交时间:2013/03/11
亚波长
衍射
微透镜
时域有限差分法
旋转体时域有限差分法对轴对称亚波长衍射光学元件的分析
期刊论文
光子学报, 2003, 期号: 10, 页码: 1259-1263
作者:
刘玉玲
;
卢振武
;
任智斌
;
李凤有
;
曹召良
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提交时间:2013/03/11
亚波长
衍射光学元件
时域有限差分法
传播算法
亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作
期刊论文
光子学报, 2003, 期号: 06, 页码: 653-656
作者:
曹召良
;
陆广
;
王吉增
;
杨柏
;
卢振武
;
李凤有
;
任智斌
;
刘玉玲
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提交时间:2013/03/11
离子束刻蚀
亚微米
离子能量
束流密度
刻蚀速率
表面光洁度
蚀刻表面面形的分析
期刊论文
光子学报, 2002, 期号: 07, 页码: 887-893
作者:
张殿文
;
卢振武
;
曹召良
;
李凤友
;
赵晶丽
;
裴舒
;
刘玉玲
;
王肇圻
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提交时间:2013/03/11
离子束蚀刻
光栅
表面浮雕结构
准单向蚀刻效应
直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)
期刊论文
光子学报, 2002, 期号: 05, 页码: 616-619
作者:
李凤友
;
卢振武
;
谢永军
;
张殿文
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提交时间:2013/03/11
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