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一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-10-27, 公开日期: 2010-10-27
发明人:  巩岩;  李顺;  张巍
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一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-01-13, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩;  李顺;  张巍
Adobe PDF(239Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/49  |  提交时间：2012/08/29