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反射式椭圆高斯光束平顶整形系统 期刊论文
发光学报, 2013, 期号: 07, 页码: 940-947
作者:  孟祥翔;  刘伟奇;  柳华;  魏忠伦;  康玉思;  冯睿;  吕伟振
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激光光束整形  椭圆高斯光束  平顶光束  反射系统  
全球面变焦距光刻系统设计 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 06, 页码: 262-267
作者:  吕博;  刘伟奇;  康玉思;  冯睿;  柳华;  魏忠伦
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/134  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  变焦距光学系统  光刻物镜  球面设计