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Investigation on the fan-shape distribution of surface roughness on diamond-turned single crystal germanium 期刊论文
Progress in Natural Science, 1996, 卷号: 6, 期号: 2, 页码: 181-188
作者:  Shi G. Q.;  Cai Y. X.;  Yu J. Y.;  Ma W. S.;  Han R. J.;  Huang W.
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