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超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-12-08, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  彭忠琦;  卢启鹏;  马磊
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