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一种环形磁控溅射装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210375207.8, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  刘星元;  林杰;  李会斌
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一种用于切换组件的精确定位机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-25, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  孙志远;  王晶;  沈铖武
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