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High precision angular displacement measurement based on self-correcting error compensation of three image sensors 期刊论文
Applied Optics, 2022, 卷号: 61, 期号: 1, 页码: 287-293
作者:  H. Yu;  Q. H. Wan;  X. R. Lu;  C. H. Zhao and L. H. Liang
浏览  |  Adobe PDF(11700Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：138/34  |  提交时间：2022/06/13
High-precision displacement measurement algorithm based on a depth fusion of grating projection pattern 期刊论文
Applied Optics, 2022, 卷号: 61, 期号: 4, 页码: 1049-1056
作者:  H. Yu;  Q. H. Wan;  X. R. Lu;  Y. C. Du and L. H. Liang
浏览  |  Adobe PDF(6289Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：89/45  |  提交时间：2023/06/14
Apparatus and its principle for thermal aberration compensation 期刊论文
Applied Optics, 2022, 卷号: 61, 期号: 29, 页码: 8624-8632
作者:  X. F. Yu;  H. J. Yang and M. Y. Ni
Adobe PDF(16982Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：65/29  |  提交时间：2023/06/14
Anti-stain algorithm of angular displacement based on a single image sensor 期刊论文
Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 7, 页码: 1985-1990
作者:  H. Yu, Q. H. Wan, C. H. Zhao, X. R. Lu and Y. Sun
Adobe PDF(824Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：113/40  |  提交时间：2021/07/06
Numerical calculation of the mosaic error between mosaic gratings 期刊论文
Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 13, 页码: 4048-4054
作者:  G. J. Yang,X. D. Qi,X. T. Mi,S. W. Zhang,H. Z. Yu,H. L. Yu,X. T. Li and S. Yang
Adobe PDF(1151Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：112/35  |  提交时间：2021/07/06
Effect of the measuring mirror surface shape error on ruled groove straightness and the grating diffraction wavefront 期刊论文
Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 27, 页码: 8465-8471
作者:  X. T. Mi,S. W. Zhang,X. D. Qi,H. L. Yu,H. Z. Yu,S. B. Jiang,Y. Lin,J. X. Zhou and Y. Y. Sun
Adobe PDF(2466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：92/37  |  提交时间：2021/07/06
Using a unique mirror to minimize the effect of ruling engine cosine error on grating performance 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 35, 页码: 10146-10151
作者:  Mi, X. T.;  Zhang, S. W.;  Yu, H. Z.;  Yu, H. L.;  Cong, M.;  Qi, X. D.
Adobe PDF(877Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：232/90  |  提交时间：2019/09/17
interferometric control  echelle gratings  resolution  carriage  Optics  
Correcting groove error in gratings ruled on a 500-mm ruling engine using interferometric control 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 21
作者:  Mi, X. T.;  H. L. Yu;  H. Z. Yu;  S. W. Zhang;  X. T. Li;  X. F. Yao;  X. D. Qi;  Bayinhedhig and Q. H. Wan
浏览  |  Adobe PDF(2137Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/116  |  提交时间：2018/06/13
Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1006Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/102  |  提交时间：2018/06/13
Small-size, high-resolution angular displacement measurement technology based on an imaging detector 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 3
作者:  Yu, H.;  Q. H. Wan;  X. R. Lu;  Y. C. Du and S. W. Yang
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