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一种非球面变焦距光刻物镜系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210279812.5, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20
发明人:  刘伟奇;  吕博;  冯睿;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  姜珊
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