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Roughness Reduction of Large-Area High-Quality Thick Al Coatings for Large-Size Echelle Gratings by Chemical Mechanical Polishing 期刊论文
Nanoscience and Nanotechnology Letters, 2018, 卷号: 10, 期号: 1, 页码: 69-74
作者:  Song, C.;  Li, Z. Z.;  Zhang, X.;  Li, Q.;  Yang, H. G.;  Gao, J. S.;  Xing, S.
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