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浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
收藏  |  浏览/下载：184/0  |  提交时间：2019/09/17
浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命  
离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：340/132  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:  贺健康;  张立超;  才玺坤;  时光;  武潇野;  梅林
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：264/79  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性  
深紫外光刻光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181
作者:  张立超;  才玺坤;  时光
caj(474Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：238/115  |  提交时间：2016/07/06
深紫外光刻  超精密光学  膜系设计  光学性能保障  环境适应性  
热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 808-815
作者:  才玺坤;  张立超;  梅林;  时光
caj(414Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：281/70  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  应力  减反膜  
应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 701-711
作者:  武潇野;  张立超;  时光
caj(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：247/87  |  提交时间：2015/04/17
光热方法  光声法  激光量热法  激光辐照  检测技术