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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
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2012 [1]
1995 [1]
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像旋补偿系统快速微调机构的结构研究
期刊论文
光子学报, 2016, 期号: 6, 页码: 61-67
作者:
鄢永耀
;
刘伟
;
付锦江
;
袁婷
caj(497Kb)
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提交时间:2017/09/17
机械设计
像旋补偿
结构分析
柔性铰链
快速微调
数学模型
刚度
基于干涉仪测量的变形镜面形展平标定研究
期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 05, 页码: 511-515
作者:
林旭东
;
刘欣悦
;
王建立
;
卫沛锋
;
王富国
caj(358Kb)
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提交时间:2013/03/11
自适应光学
变形镜
展平标定
干涉仪
用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能
期刊论文
光子学报, 1995, 期号: 03, 页码: 249-257
作者:
郭玉彬
;
李福田
;
唐九华
;
李加
;
慎微
;
杜涌兴
caj(247Kb)
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浏览/下载:393/80
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提交时间:2013/03/11
软x射线
近贴式
光刻胶
光刻术