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High-precision 2D grating displacement measurement system based on double-spatial heterodyne optical path interleaving 期刊论文
Optics and Lasers in Engineering, 2022, 卷号: 158, 页码: 7
作者:  Y. F. Yin;  Z. W. Liu;  S. Jiang;  W. Wang;  H. Z. Yu;  G. Jiri;  Q. Hao and W. H. Li
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