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电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/90  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/93  |  提交时间：2016/07/06
电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜  
压电驱动器的开闭环迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 2, 页码: 414-419
作者:  李朋志;  闫丰;  葛川;  李佩玥;  隋永新;  杨怀江
caj(836Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/113  |  提交时间：2015/04/17
压电驱动器  Pzt  开闭环  迭代学习控制  迟滞  
基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
作者:  谭鑫;  沈晨;  吴娜;  张方程;  巴音贺希格
caj(754Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：476/131  |  提交时间：2014/03/07
凹面光栅  闪耀光栅  分区法  衍射效率  离子束刻蚀  
基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 394-399
作者:  李朋志;  葛川;  苏志德;  闫丰;  隋永新;  杨怀江
caj(1254Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/96  |  提交时间：2014/03/07
压电陶瓷驱动器(Pzt)  迟滞  动态模糊系统  前馈  轨迹跟踪