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Grating-based precision measurement system for five-dimensional measurement 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 1, 页码: 189-202
作者:  Q. Lv,W. Wang,Z.-W. Liu,Y. Song,S. Jiang,L. Liu,Bayanheshig and W.-H. Li
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Heterodyne period measurement in a scanning beam interference lithography system 期刊论文
Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 19, 页码: 5830-5836
作者:  S. Jiang,B. Lu,Y. Song,Z. W. Liu,W. Wang,L. Shuo and Bayanheshig
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The effects of TMDD-PA concentration on roughness of Si <1 1 0> and etching rate ratio of Si <1 1 0>/<1 1 1> in alkaline KOH solution 期刊论文
Chemical Physics, 2020, 卷号: 529, 页码: 4
作者:  C. L. Zhu,Q. B. Jiao,X. Tan,H. Hu and Bayanheshig
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