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控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-10-27, 公开日期: 2010-10-27
发明人:  梁静秋;  王波;  梁中翥;  徐大伟
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