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复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析 期刊论文
中国光学与应用光学, 2008, 期号: Z1
作者:  苏东风;  续志军;  韩旭东
caj(145Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/75  |  提交时间：2012/09/25
高精度光栅  挠度  厚度