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一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台 期刊论文
测试技术学报, 2003, 期号: 02, 页码: 138-140
作者:  解滨;  尼启良;  巩岩;  曹继红;  陈波
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/69  |  提交时间：2013/03/11
极紫外多层膜  反射率  步进电机  平台