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用于长波红外目标模拟器的DMD衍射特性分析 期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 101-107
作者:  韩庆;  王健;  熊峥;  张建忠;  马俊林;  刘英;  孙强
caj(951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：425/127  |  提交时间：2018/04/09
衍射特性  数字微镜器件  红外目标模拟器  二维光栅  
绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/115  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅