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圆拟合修正法在超声波键合机中的应用 期刊论文
半导体技术, 2011, 期号: 07, 页码: 549-553
作者:  洪喜;  续志军;  李维;  刘立峰
caj(324Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：449/79  |  提交时间：2013/03/11
超声波键合机  键合工具  位置误差  椭圆拟合  精度