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用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东
收藏  |  浏览/下载：214/0  |  提交时间：2019/09/17
衍射光栅  曲面闪耀光栅  光栅刻蚀  三维工作台  圆弧拟合算法  轨迹误差