中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
作者:  吕强;  王玮;  刘兆武;  宋莹;  姜珊;  刘林;  巴音贺希格;  李文昊
浏览  |  Adobe PDF(3195Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/50  |  提交时间：2021/07/06
衍射光栅  精密测量  五维自由度  
电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 606-615
作者:  朱春霖;  胡昊;  焦庆斌;  谭鑫;  巴音贺希格
caj(5217Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：126/33  |  提交时间：2020/08/24
金属光栅  在线监测  严格耦合波理论  占宽比  电流密度  能量损耗  
Seya-Namioka单色仪中光栅曲率半径误差的影响及补偿 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 04, 页码: 623-629
作者:  孟竹;  谭鑫;  巴音贺希格;  王玮;  刘兆武;  赵旭龙
收藏  |  浏览/下载：320/0  |  提交时间：2019/09/17
曲率半径误差  Seya-Namioka光栅  光线追迹  使用参数  误差补偿  
基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者:  吕强;  李文昊;  巴音贺希格;  柏杨;  刘兆武;  王玮
caj(407Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/105  |  提交时间：2018/04/09
位移测量  光栅  衍射干涉  高精度  
平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 241-247
作者:  姜岩秀;  韩建;  李文昊;  巴音贺希格
caj(177Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：190/62  |  提交时间：2016/07/06
分光光栅  棱镜  空间相位差  曝光系统  稳定性