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| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 233-240 作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东 caj(373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:393/113  |  提交时间:2018/04/09 全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格 caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:362/127  |  提交时间:2018/04/09 光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊 caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:305/95  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| 光学元件表面缺陷对高斯光束的调制作用研究 期刊论文 , 2016 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹 收藏  |  浏览/下载:189/0  |  提交时间:2017/09/17 高斯光束 振幅调制 相位调制 角谱 |
| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141 作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格 caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:323/87  |  提交时间:2017/09/17 激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| 干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文 激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343 作者: 宋莹 caj(261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:236/61  |  提交时间:2017/09/17 光栅 光栅曝光 数值计算 条纹相位变化 曝光对比度 掩模槽形 |
| 光电测量设备图像高频频谱对主观评价的影响 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 109-115 作者: 张宁; 沈湘衡; 叶露; 宋莹 caj(1597Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:317/91  |  提交时间:2017/09/17 成像系统 光电测量设备 高频频谱 调制传递函数 低通滤波器 主观评价 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文 中国激光, 2016, 页码: 231-236 作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强 caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:274/73  |  提交时间:2018/04/09 测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183 作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠 caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:264/95  |  提交时间:2017/09/17 光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 |
| 应用光电倍增管模块的杂光系数测试与分析 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2015, 期号: 08, 页码: 1203-1209 作者: 张宁; 沈湘衡; 叶露; 宋莹 caj(1444Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:249/89  |  提交时间:2016/07/06 黑斑法 杂光系数 光电倍增管模块 低通滤波 功率谱估计 |