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扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:373/136  |  提交时间:2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
红外成像系统的非均匀性实时校正 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2841-2847
作者:  李赓飞;  李桂菊;  韩广良;  刘培勋;  江山
caj(520Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:448/104  |  提交时间:2017/09/17
红外图像  成像系统  竖条纹噪声  非均匀性校正  实时处理  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/91  |  提交时间:2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
复杂背景灰度图像下的多特征融合运动目标跟踪 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 320-328
作者:  江山;  张锐;  韩广良;  孙海江
caj(931Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:314/124  |  提交时间:2017/09/17
目标跟踪  边缘检测  Sobel算子  Meanshift跟踪  
基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利;  李晓天;  尹禄
caj(395Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:279/117  |  提交时间:2017/09/17
衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差  
基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 224-231
作者:  卢禹先;  齐向东;  于海利;  李晓天;  张善文;  姜珊;  尹禄
caj(1457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:344/96  |  提交时间:2017/09/17
衍射  拼接精度  夫琅禾费原理  复制拼接技术  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:277/73  |  提交时间:2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:271/96  |  提交时间:2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差  
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:212/87  |  提交时间:2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定  
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  杨超;  于海利;  冯树龙;  李晓天;  齐向东;  姜珊;  唐玉国
caj(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:413/113  |  提交时间:2015/04/17
刻划刀架  刻划光栅  刻线弯曲  刻线位置误差  光栅光谱