中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/137  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计