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| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格 caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:370/134  |  提交时间:2018/04/09 光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 224-231 作者: 卢禹先; 齐向东; 于海利; 李晓天; 张善文; 姜珊; 尹禄 caj(1457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:340/95  |  提交时间:2017/09/17 衍射 拼接精度 夫琅禾费原理 复制拼接技术 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文 中国激光, 2016, 页码: 231-236 作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强 caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:277/73  |  提交时间:2018/04/09 测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183 作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠 caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:268/96  |  提交时间:2017/09/17 光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 |
| 折反射式大入瞳星敏感器光学系统设计 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 276-283 作者: 吕博; 刘伟奇; 张大亮; 姜珊; 康玉思; 冯睿 caj(655Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:352/99  |  提交时间:2015/04/17 光学设计 折反射 星敏感器 遮光罩 杂光分析 |