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大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
caj(23894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：247/0  |  提交时间：2019/09/23
光栅刻划机  机刻光栅  研磨加工  传动精度测量  宏微双重驱动