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一种采用均匀进气系统的原子层沉积装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  单崇新;  申赫;  于吉;  刘兴宇;  王双鹏;  李炳辉;  申德振
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