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Ion-bombardment-induced reduction in vacancies and its enhanced effect on conductivity and reflectivity in hafnium nitride films 期刊论文
Applied Physics a-Materials Science & Processing, 2016, 卷号: 122, 期号: 8
作者:  Gu, Z. Q.;  J. F. Wang;  C. Q. Hu;  X. B. Zhang;  J. C. Dang;  S. Zhang;  J. Gao;  X. Y. Wang;  H. Chen and W. T. Zheng
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