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数字微镜器件（DMD）杂散光特性测试方法及装置 期刊论文
中国光学, 2022, 卷号: 15, 期号: 02, 页码: 339-347
作者:  姚雪峰;  高毅;  龙兵;  于晨阳;  李文昊;  于宏柱;  张靖;  李晓天
浏览  |  Adobe PDF(3320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：130/52  |  提交时间：2023/05/18
二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
浏览  |  Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/91  |  提交时间：2021/07/06
二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展 期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 03, 页码: 542-551
作者:  杨国军;  齐向东;  于海利;  李晓天;  张善文;  糜小涛;  于宏柱
caj(566Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：124/34  |  提交时间：2020/08/24
光栅拼接  误差检测  误差分离  相位校正  拼接装置  
Simple and compact grating-based heterodyne interferometer with the Littrow configuration for high-accuracy and long-range measurement of two-dimensional displacement 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2018, 卷号: 57, 期号: 31, 页码: 9455-9463
作者:  Lv, Qiang;  Liu, Zhaowu;  Wang, Wei;  Li, Xiaotian;  Li, Shuo;  Song, Ying;  Yu, Hongzhu;  Bayanheshig;  Li, Wenhao
浏览  |  Adobe PDF(1611Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：388/110  |  提交时间：2019/08/26
laser  nonlinearity  encoder  errors  stage  Optics  
平面光栅衍射效率测试系统 期刊论文
长春工业大学学报, 2018, 期号: 05, 页码: 499-504
作者:  于宏柱
收藏  |  浏览/下载：156/0  |  提交时间：2019/09/17
平面光栅  衍射效率  光线追迹  
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：536/116  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 745-752
作者:  糜小涛;  于宏柱;  于海利;  姚雪峰;  宋楠;  冯树龙;  齐向东
caj(388Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/89  |  提交时间：2016/07/06
光栅刻划机  衍射光纤  双拉杆结构  单拉杆结构  石英导轨  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
作者:  糜小涛;  于宏柱;  高键翔;  于海利;  张善文;  齐向东
caj(515Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：304/92  |  提交时间：2016/07/06
微定位系统  控制器设计  数学模型  定位精度  
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:  杨超;  于海利;  张善文;  于宏柱;  李晓天;  唐玉国
caj(1321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/124  |  提交时间：2016/07/06
光栅  刻划光栅  光栅波前  刻线位置误差  转角误差  压电驱动器  
光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者:  李晓天;  于海利;  齐向东;  朱继伟;  于宏柱;  巴音贺希格
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/102  |  提交时间：2015/04/17
光栅  光栅刻划机  宏微两级工作台  Bp神经网络  Pid控制  自适应控制