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Reducing machine-ruling grating wavefront value by compensating grating substrate surface error in real time 期刊论文
Optics Communications, 2018, 卷号: 420, 页码: 122-126
作者:  Yang, C.;  Li, Y. H.;  Xue, C. X.;  Li, X. T.;  Yu, H. L.
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Diffraction grating  Phase measurement  System design  Grating wavefront  interferometric control  diffraction  resolution  carriage  Optics  
High-performance etching of multilevel phase-type Fresnel zone plates with large apertures 期刊论文
Optics Communications, 2018, 卷号: 407, 页码: 227-233
作者:  Guo, C. L.;  Zhang, Z. Y.;  Xue, D. L.;  Li, L. X.;  Wang, R. Q.;  Zhou, X. G.;  Zhang, F.;  Zhang, X. J.
Adobe PDF(3387Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：322/105  |  提交时间：2019/09/17
Fresnel zone plate  Diffractive optical elements  Etching depth  uniformity  Ion beam etching  Dwell time algorithm  dwell-time algorithm  dielectric gratings  fabrication errors  x-ray  ion  Optics